华力购进最先进的浸没式光刻机，未来月产能4万片

电子芯片网报道，5月21日上午，在上海浦东新区康桥工业园南区，由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目（以下简称“华虹六厂”）实现首台工艺设备——光刻机搬入， 标志着华虹六厂从基建阶段进入工艺设备安装调试阶段。 

此次搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司ASML的NXT 1980Di光刻机，是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。 

华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目，总投资387亿元人民币，将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线，工艺覆盖28-14纳米技术节点。项目计划于2022年底达到产能目标。项目主要从事逻辑芯片生产，重点服务国内设计企业先进芯片的制造，并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。项目已被列入国家《“十三五”集成电路产业重大生产力布局规划》，是国家“910工程”的子项目之一，也是“十三五”期间上海市重大产业项目和上海市重大工程。 

华力12英寸先进生产线建设项目实现首台工艺设备搬入，标志着将康桥工业园南区打造为上海集成电路产业发展新基地、上海市落实《国家集成电路产业发展推进纲要》取得了阶段性胜利，同时对上海建设先进制造业的产业集群高地、打响“上海制造”品牌有着重要意义。 

自2016年12月30日开工以来，经过16个半月的努力，目前主厂房已完成净化装修，相关配套机电设备准备就绪，具备了工艺设备搬入条件，较原计划进度提前1个半月。 

未来五个月内，华虹六厂工艺设备将集中搬入，并完成安装调试，年底前完成生产线串线并实现试流片。

2017年的时候SK 海力士无锡厂也购入了该款光刻机。

荷兰阿斯麦ASML公司简介

(全称： Advanced Semiconductor Material Lithography, 目前该全称己不做为公司标识使用，公司的注册标识为ASML Holding N.V)，中文名称为阿斯麦（中国大陆）、艾司摩尔（中国台湾）。是总部设在荷兰Veldhoven的全球最大的半导体设备制造商之一，向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市。

ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务，TWINSCAN系列是目前世界上精度最高，生产效率最高，应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商，都向ASML采购TWINSCAN机型，例如英特尔(Intel)，三星(Samsung)，海力士(Hynix)，台积电(TSMC)，中芯国际(SMIC)等。

ASML的产品线分为PAS系列，AT系列，XT系列和NXT系列，其中PAS系列光源为高压汞灯光源，现已停产，AT系列属于老型号，多数已经停产。市场上主力机种是XT系列以及NXT系列，为ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的机型，分为干式和沉浸式两种，而NXT系列则是现在主推的高端机型，全部为沉浸式。

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