ASML向神秘客户交付全球第二台高数值孔径（NA）极紫外（EUV）光刻机
ASML的高NA EUV芯片制造机器旨在使未来的节点比目前的EUV工具（被认为是低NA）更密集。...
光刻机
29亿元！Intel 晒史上最贵开箱：全球首台高NA EUV光刻机装机
他们从ASML拿到的全球第一台高NA EUV光刻机，已经开始在美国俄勒冈州希尔斯伯勒附近的工厂内安装了。...
尼康推出新一代光刻机产品 机构关注更小制程进展
尼康宣布推出新一代具有5倍缩小投影倍率的i-line步进式光刻机“NSR-2205iL1”,预计2024年夏季上市,代表了尼康5倍步进技术在过去25年中最重大的更新。...
芯片破壁者：光刻技术的“鬼斧”之变
在我们今天看来，晶体管发明以后，集成电路的出现一直到今天超大规模集成电路的出现，似乎是一件水到渠成的事情。但是如果回到半导体产业初兴的历史现场，我们就会发现没有任何一项关键技术的突破是 必然产生 的。光刻技术，正是半导体芯片得以出现的关键技.....
雅克科技披露收购LG化学彩色光刻胶业务事项进展
今年2月，雅克科技宣布旗下子公司斯洋国际有限公司（以下简称 斯洋国际 ）使用自有资金约580亿韩元（约合人民币3.35亿元）购买韩国LG CHEM, LTD. （以下简称 LG化学 ）下属的彩色光刻胶事业部的部分经营性资产（以下简称 标的资......
世界光刻机巨头ASML“握手”无锡
5月，全世界著名光刻机生产研发公司荷兰阿斯麦（ASML）公司与无锡高新区管委会签署战略合作协议，未来阿斯麦公司将在原有基础上对资源进行整合提升，加速扩建光刻设备技术服务（无锡）基地。光刻机，又名掩模对准曝光机，是制造大规模集成电路的核心装备......
国产半导体用光刻胶发展新动态
前段时间， 光刻胶 概念在市场上受到关注，作为关键性电子化学品之一，光刻胶是实现半导体材料国产替代的重点领域，那么目前中国本土光刻胶发展现状如何？本土企业的光刻胶产品或项目有何新动态？据了解，光刻胶是国际上技术门槛最高的微电子化学品之一，其.....
总投资13亿元 这个光刻设备及光刻材料项目落地西安
西安市高陵区引进国家战略新兴产业、推动高质量发展取得新突破，6月5日，上海博康项目正式签约落户高陵。封面图片来源：视频截图据西安晚报报道，上海博康光刻设备及光刻材料项目总占地200亩，总投资13亿元，满产后年产值20亿元以上，年贡献税......
为扩产做准备 粤芯半导体更先进光刻机已进厂
近日有消息称，广州粤芯半导体更先进光刻机已进厂，为扩产做好最重要准备，南方网记者从投资方智光电气确认了该消息。资料显示，粤芯半导体成立于2017年12月，粤芯半导体的注册资本为10亿元，其中科学城（广州）投资集团有限公司认缴出资2亿元，占股......
南大光电披露光刻胶项目最新进展
江苏南大光电材料股份有限公司（以下简称 南大光电 ）在股票交易异常波动的公告中披露了其光刻胶项目最新进展。公告显示，南大光电承接的国家 02专项 之 ArF光刻胶产品的开发和产业化项目 的基础建设按计划进行；2019年底完成一条生产线......
荷兰光刻机设备顺利进入中芯国际深圳厂区
据羊城晚报信息，3月4日消息，中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司从从荷兰进口的一台大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区。...
2019年光刻设备大厂ASML光刻机出货26台 3纳米设备产品或2021年问世
在晶圆代工龙头台积电将于 2020 年正式量产 5 纳米制程，而竞争对手三星也在追赶的情况下，当前两家公司也在积极研发更先进的 3 纳米制程。...
中科院光电所深紫外光刻机镀膜技术研究取得新进展
为实现大的数值孔径，光刻机镜头通常包含大量接近于半球形状的凸球面和凹球面，这些球面导致同一镜面上光线入射角度范围高达0°到60°以上。...
光刻机巨头ASML供应商火灾，影响全球7nm大战
元件和模块供应商 Prodrive 在周末发生火灾，导致供应商现有的库存产能遭到摧毁，公司在第一时间已经找其他供应商提供代替元件和物料。...
