公告显示该订单的总价约为12亿美元，中芯国际将在发出订单后先首期付款30%，余款在产品收到后支付。
2021年3月3日晚上，中芯国际（SMIC）在港交所发表公告称，2021年2月1日已经与阿斯麦(ASML)上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议，采购协议的期限从原来的2018年1月1日至2020年12月31日延长至从2018年1月1日至2021年12月31日。公告显示该订单的总价约为12亿美元，中芯国际将在发出订单后先首期付款30%，余款在产品收到后支付。
阿斯麦上海是ASML Holding N.V.的附属公司之一，而荷兰公司ASML是全球最大的光刻机制造商，而光刻机是制造芯片的关键设备。ASML在45nm以下工艺制程的光刻机市场占据了85%的份额，在EUV（极紫外光刻技术）光刻机领域则处于绝对垄断地位，市场占有率100%。EUV光刻机能推进5nm/7nm工艺节点，而DUV（深紫外线光科技术）光刻机可以扩充中芯国际的产能，例如可以满足近期不断增长的8英寸晶圆的生产需要。今年成熟工艺制程需求量比较大，也是中芯国际抢占市场的机会。
据相关媒体近期的报道，为中芯国际提供14nm及以上工艺制程所需原料和设备的美国相关厂商，已获得美国的许可证。目前许可证以10nm工艺为分界线，14nm及以上工艺制程相关产品可以获得许可，10nm及以下工艺节点则会被限制。简单来说，现阶段中芯国际在ASML那里，除了EUV光刻机，基本上DUV光刻机都能买。
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