月17日，精测电子控股子公司上海精测半导体技术有限公司（简称“上海精测”）中标长江存储的3台集成式膜厚光学关键尺寸量测仪。
继1月2日，中微中标长江存储9台刻蚀设备订单后，武汉精测电子集团股份有限公司（以下简称“精测电子”）也迎中标订单。
据中国国际招标网消息，1月17日，精测电子控股子公司上海精测半导体技术有限公司（简称“上海精测”）中标长江存储的3台集成式膜厚光学关键尺寸量测仪。
资料显示，上海精测成立于2018年7月，主要从事以半导体测试设备为主的研发、生产和销售，同时也开发一部分显示和新能源领域的检测设备。公司以椭圆偏振技术为核心，在1年多时间内开发了膜厚测量以及光学关键尺寸测量系统，包括集成式膜厚测量机EFILM 300IM、集成单/双模块膜厚测量机EFILM 300DS、高性能膜厚及OCD测量机EPROFILE 300FD等产品型号。
当前，上海精测已获国家大基金入股。天眼查公开信息显示，2019年12月，上海精测已完成股权变更，新增了国家大基金、上海半导体等7个股东，注册资本也有此前的1亿元增加至6.5亿元，其中国家大基金一期注资1亿，对上海精测半导体持股4%，为并列第二大股东。
近日，上海精测实现3台来自长江存储的集成式膜厚光学关键尺寸量测仪订单，表明上海精测已具备晶圆制造环节的膜厚量测设备重复、批量供应能力。
事实上，近年来，国产量测设备厂商已经陆续获得长江存储订单，例如上海睿励2017年底拿到长江存储2台膜厚设备订单；中科飞测也拿到了长江存储等大厂的订单；上海精测中标3台膜厚量测设备。
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