芯片产业正值多事之“冬”,除了承受全球景气迟缓的巨大压力外,设备产业更是冷风飕飕,3 日更传出荷兰光刻机龙头大厂 ASML 的元件供应商 Prodrive 发生火灾,ASML 立刻启动备用供应商的策略调货,今年出货不至于有影响,但 2019 年出货是否递延要再评估,业内人士认为,如果受影响的是攸关台积电、三星电子(Samsung Electronics)火热大战的 EUV 光刻机,ASML 身为全球唯一的供应商,恐对全球 7 纳米大战带来不确定因素!
(来源:ASML)
设备业上半年景气热,然下半年却处于“火线地带”
2018 年的设备产业一直是处于芯片业的“火线地带”,原本上半年订单满手且出货不及,到了下半年,整个产业景气大反转,10 月国内更发生 DRAM 自主技术阵营福建晋华突然被美国禁运设备的事件,11 月更传出美系设备大厂鼓励员工多排休假,有往年放“无薪假”的隐隐前兆。
原以为快到年底,不平静的 2018 年终于要结束,即将要迎接崭新 2019 年之际,突然又发生荷兰光刻机龙头大厂 ASML 供应商失火事件!
ASML 对 DT 君表示,元件和模块供应商 Prodrive 在周末发生火灾,导致供应商现有的库存产能遭到摧毁,公司在第一时间已经找其他供应商提供代替元件和物料,目前确定 2018 年出货时程不会有影响,但 2019 年初的供货可能递延,目前正在评估中。
ASML 也强调,由于事发突然,基于谨慎考量,需要几周的时间来评估该事件的实际影响,最重要的事,没有人员在该起火灾中发生意外。
Prodrive 是 ASML 的光刻机元件和模块供应商,据了解,双方合作时间非常长,至少可追溯到 2011 年。ASML 在 2017 年也颁发给 Prodrive 最佳供应商奖项“ASML Supplier Collaboration Award”。
ASML 突发供应商失火事件,是否影响紧俏的 EUV 机台受注目
行业内人士认为,实际影响要等 ASML 公布评估后的结果,可能受影响的是哪一种机台设备,是深紫外光(DUV)机台?或是攸关于台积电、三星 7 纳米大战的极紫外光(EUV)机台?因为两家大厂会在 2019 年进入 7 纳米 EUV 机台大战的关键时刻,后勤的“关键军火设备”即时供应是至关重要!
根据美国调研机构的资料显示,2017 年 ASML 在全球半导体光刻设备厂中以 85 % 的市占率稳居龙头,其次是日本厂商尼康(Nikon ) 的 10.3 %,以及佳能 ( Canon ) 的 4.3 %,而 ASML 已经是连续 16 年稳居市场第一。
再者,ASML 在 EUV 光刻机上,是处于全球独占的地位,意思是该半导体设备只有 ASML 能供应,这在全球产业链中属于极度特别的状态,而一台 EUV 光刻机的造价高达 1 亿欧元。
(来源:ASML)
ASML 目前有三大产品线分别为 EUV 光刻机 、 DUV 光刻机 和 application products。当中,DUV 光刻机是营运主力且出货量最大,而 EUV 是最具前瞻性的产品,明年开始放量。
根据 ASML 预估,2018 年底可望完成共 18 台 EUV 光刻系统的出货,由于第一批 EUV 导入生产的客户将于 2019 年进入量产阶段,公司也预估 2019 年 EUV 光刻机台的出货量可达 30 台,2020 年出货量更将上看 40 台。
此外,ASML 也致力于推进 EUV 技术蓝图,并取得重要进展,下一代 NXE:3400C 设备预计于 2019 年下半年开始出货, NXE : 3400C 设备每小时曝光的晶圆数量增加至 155 片。
行业内人士认为,现在各界最关心的环节是,ASML 供应商失火事件是否会影响到主要大客户在 2019 年 7 纳米相关机台的出货,包括最关键的 EUV 和 DUV 设备。
台积电、三星 EUV 光刻机大战将在明年达到顶峰
台积电的 7 纳米工艺已经在 2018 年量产,但是采用非 EUV 技术的版本,而是沿用多重曝光技术(multi-patterning),到了 2019 年第一季,台积电采用 EUV 技术的第二代 7 纳米工艺(N7+)就会开始流片,全面迎战三星采用 EUV 技术的 7 纳米工艺。
台积电第二代 7 纳米工艺所以备受注目,是因为首家客户是就是海思新一代的麒麟 990 处理器,预计第二季可开始生产,这是华为第一款支持 5G 的处理器,而第二代 7 纳米工艺(N7+)可以带来电晶体密度再提升 20 %,功耗降低 10% 的优势。
按照这个时程推估,海思新一代的麒麟 990 处理器量产时程,会对上三星采用 EUV 技 术的第一代 7 纳米工艺,但三星主要以支持自己智能手机为主,之前台积电和三星针对究竟是谁先量产 EUV 技术,是互不相让!
再者,ASML 在中国的业务比重也是越来越大,今年上半年中国市场占 ASML 营收约 20 %,估计全年平均约可达到 15 % 左右。目前 ASML 在中国的客户有中芯国际、华虹半导体、长江存储、合肥长鑫、英特尔大连厂、SK 海力士西安厂、福建晋华等。
(来源:DT君)
摩尔定律走到极限之际,有几条路径是延续其寿命的关键,其中之一就是 EUV 光刻机技术的突破,而唯一能生产 EUV 光刻机的 ASML 角色更是关键。
经过许多年的研发和进展,EUV 光刻机的曝光效率大幅提升到可以让客户导入的阶段,采用 EUV 光刻机的芯片终于要放量,2019 年会是半导体产的历史时刻,这次 ASML 供应商失火或许是小风波,但也反应“关键军火”的稀少性,让全球芯片生产成本越来越昂贵、供应商越来越集中,产业链随时都处于极度紧绷的状态!
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